2024-自學課程-先進元件製程整合 (FT. 國立聯合大學)

想像一下,面臨元件越作越小的困難時,你正在成為元件研發工程師的超級英雄,而積體電路製程整合就是你的超能力!這門課程將教你如何將各種各樣的製程模組及元件結構,像是高介電材料閘極絕緣層及金屬閘極、鰭式電晶體和奈米片電晶體等,組合成高效能電晶體元件。

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Course Descriptions

首先,讓我們來看看這些電子元件是如何工作的。我會簡單複習電晶體元件的原理,然後在電晶體根據摩爾定律微縮時,所面臨到的困難,帶大家一起去從中思考去開發新的元件結構。你將學習到短通道效應的原因,且應用多閘極結構來改善電晶體的效能。

接下來,我會介紹金屬矽化物製程,RSD改善、高介電材料閘極絕緣層及金屬閘極、應力技術等製程模組。這些技術就像是你的武器,可以讓你創造出各種元件結構。當尺寸微縮遇到困難時,提出相對應的元件製程模組,將每個模組整合起來,形成一個高效能電晶體元件。就像是蓋一個豪宅,你需要仔細地將每個模組整合起來,每個地方都需要有合適的結構,每個模組都有自己的角色和功能,完成之後讓人有個溫暖的家,而元件開發完成之後讓你有個更快的IC可以使用在電子產品上。

最後,在這門課程中,我會說明如何成為一名積體電路製程整合大師,透過靈活應用所學的知識與技能來配合目前電晶體的發展,並研發出令人驚嘆的高效能電晶體元件。

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What’s included

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林育賢

國立聯合大學電子工程學系教授

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學歷

國立交通大學 電子研究所博士

研究領域

奈米元件、半導體製程、記憶體元件、 薄膜電晶體、高速元件

信箱

yhlin@nuu.edu.tw

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